半導體微納機電器件與系統SCI期刊三區推薦
期刊名稱：Materials Science in Semiconductor Processing
ISSN：1369-8001
出版地區：United Kingdom
出版周期：雙月刊
中科院分區：3區
JCR分區：Q2
大類學科：工程技術
小類學科：材料科學、半導體加工
影響因子：3+
研究方向：重點發表電子與電氣工程、材料科學、應用物理、凝聚態物理等相關方向的文章，涵蓋微電子學、能量轉換與存儲、通信、生物技術、催化、納米和薄膜技術、混合和復合材料、化學處理、氣相沉積、器件制造和模擬等領域。
出版商：Elsevier Ltd
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